为响应国家“脑科学与类脑研究2030重大科技项目”，中国科学院脑科学与智能技术卓越创新中心于2022年在上海G60科创走廊核心区域率先建立了先进脑科学微纳加工平台，这是面向脑智中心、外部科研院所乃至全社会开放的仪器共享科研平台，也是脑智中心开展半导体器件工艺及其交叉学科研究的重要研究创新平台。随着我国科技、经济、社会发展对神经科学和人工智能技术发展提出了巨大的需求—，我们必须加快建设应对神经系统重大疾病的预防、诊断和治疗技术开发，以神经计算、仿真记忆存储、智能机器为代表的战略性经济增长点，也成为抢占未来20—30年智能社会和超智能社会发展先机的关键。
微纳平台目前拥有多名博士及工艺技术人员、设备工程师和安全工程师等，我们将紧紧围绕中心发展和人才培养目标，建设国内一流科研平台，支撑半导体加工领域前瞻性和创新性的科学研究。
先进脑科学微纳加工平台位于上海市松江区强业路555号B1层，占地1000余平方米。平台设有百级（ISO-5）和千级（ISO-6）两个洁净室区域，布局有清洗、镀膜、干法刻蚀、光刻、封装、量测等多道工序的先进半导体设备。同时拥有电子束曝光机、磁控溅射等先进设备，具备全面的半导体器件制备条件。实验室内还配备了通风橱、防爆柜、防爆冰箱等专业实验辅助设备。每年定期会定期检测内部环境颗粒度，更换洁净间的空气过滤器装置，确保实验的可靠和稳定性。此外，平台还配备24小时专业厂务人员，定时巡检确保实验室的安全平稳运行。
在脑机接口领域，微纳加工平台被用于制备各种微型传感器和电极阵列，用于记录和识别人脑活动中的电信号，并实现人脑与外部设备的交互和控制。这些设备需要具备高度灵敏度和稳定性，以确保可靠地捕获和解释脑信号，从而实现对外部设备的精准控制和交互式操作。 先进脑科学微纳加工平台是一种专门用于制备微型电子机械系统（MEMS）器件的技术设施，其在脑机接口等领域发挥着关键作用。该平台提供了高度精密的微纳加工技术，以支持对微米至纳米尺度的器件进行精确加工和制备，从而实现了对脑机接口等领域的可靠服务。
首先在技术专业上具备先进的微纳加工工艺，如光刻、薄膜沉积、离子刻蚀等，以实现对MEMS器件的精密加工和制备。这些工艺能够精确控制材料的形貌和结构，从而保证器件的性能和可靠性。其次，平台配备了先进的材料处理设备，以满足不同器件的制备需求。例如，对于脑机接口器件，可能需要特殊的生物相容材料或表面涂层，以确保与生物组织的良好兼容性。此外，微纳加工平台还具备完善的测试与评估系统，以对制备的MEMS器件进行全面的性能测试和可靠性评估。这些测试系统能够对器件的电性能、力学性能等进行准确的测量和分析，从而保证器件在实际应用中的可靠性和稳定性。
总之，先进脑科学微纳加工平台在MEMS器件制备领域具有重要意义，尤其在脑机接口等前沿领域的研究和应用中发挥着关键作用。通过提供精密的加工技术、先进的材料处理设备和完善的测试与评估系统，为实现可靠的服务和技术创新提供了坚实的基础。
